高性能機架式分析儀
一、產(chǎn)品功能OA-ICOSTM工業(yè)痕量氣體分析儀旨在以優(yōu)異的靈敏度、準確度、精密度和響應(yīng)時間，滿足客戶的苛刻要求。它簡單易用，可在幾分鐘內(nèi)啟動，無需現(xiàn)場校準，并且只需極少的預(yù)防性維護。該系列氣體分析儀非常適用于：1. 空氣分子污染(AMC)監(jiān)測：用于確保半導(dǎo)體晶圓廠(FAB)工藝和人員的健康安全2. 前開式晶圓傳送盒(FOUP)和氣相沉積室監(jiān)測與傳統(tǒng)的光腔衰蕩光譜技術(shù)相比，離軸1COS技術(shù)具有諸多優(yōu)勢，例如：更...
